O2

 99.9995％

  N2≦1.5  O2≦1.0 H20≦1.5 總烴≦1.0

 99.999％

  N2≦4.0  O2≦2.0 H20≦3.0 總烴≦1.0

 99.995 ％

  N2≦20.0 O2≦8.0 H20≦8.0 總烴≦2.0

 99.95 ％

  N2≦280. O2≦60. H20≦20. 總烴≦10.

He

 99.999～99.9996％

  H2≦0.   O2+Ar≦2 N2≦5 CO2≦0.5 CH4≦0.5
  Ne≦0.5  CO2≦0.5 CO≦0.5       H2<3

 99.99～99.995％

  Ne<1.0   CO<1.0 CH4<1.0 CO2<1.0 O2+Ar<10 H2O<10

Ar

 99.999％

  N2≤5.0   O2≤2.0  H2≤1.0   CH4≤2.0  H2O≤4.0

N2

 99．999％

  O2≤3.0   H2≤1.0  CH4≤3.0  H2O≤5.0

H2

 99．999％

  N2≤5.0   O2<2.0   H2O<2.0

O2

 99.995％

  Ar<10.0   N2<20.0  H2O≤3.0  CO+CO2+CH4≤3.0

 99.999％

  Ar≤2.0   N2≤5.0  H2O≤2.0  CO+CO2+CH4≤1.0

CH4

 99.995％

  O2 (Ar)≤5.0  N2≤15.0  H2≤5.0   C2H6≤15.0  H2O≤5.0

 99.99％

  O2(Ar)≤10.0  N2≤35.0  H2≤10.0  C2H6≤25.0  H2O≤15.0

 99.9％

  O2(Ar)≤50.0  N2≤250.0 H2≤ 50.0 C2H6≤500.0 H2O≤50.0

CO

 99.95％

  O2≤150.0   N2≤300.0   H2O≤20.0

 99.9％

  O2≤300.0   N2≤600.0   H2O≤50.0

NH3

 99.999％

  O2≤2.0 N2≤5.0  CO+CO2+CH4≤2.0  H2O≤5.0  總雜質含量≤10.0

Ne

 99.999％

  N2<2.0  CO<0.05   He<6.0  H2O<1.0  O2+Ar<1.0  CH4<1.0 
  CO2<0.5          H2<1.0